功率半導體模塊溫控測試系統的準確溫度調控技術研究
功率半導體模塊作為電力電子設備的核心組件之一,功率半導體模塊溫控測試系統通過構建成熟的散熱機制,為模塊在各種工況下的穩(wěn)定運行提供了保障,同時也為其性能測試和可靠性評估奠定了基礎。

功率半導體模塊的工作特性決定了其對溫度變化要求較高。在大功率輸出狀態(tài)下,模塊內部的半導體芯片會因電流通過而產生焦耳熱,若熱量積累,芯片結溫可能超過允許范圍,導致開關速度下降、導通電阻變化,甚至出現熱擊穿等損壞。因此,在模塊的研發(fā)、生產及測試環(huán)節(jié),需要通過溫控系統實現熱量的快速轉移和溫度的準確控制,以模擬實際應用中的熱環(huán)境,驗證模塊在不同溫度條件下的運行狀態(tài)。
散熱是功率半導體模塊溫控測試系統的核心功能之一,其實現依賴于多方面的技術設計。從散熱介質的選擇來看,系統通常會根據測試需求采用不同類型的傳熱介質,如硅油、乙二醇水溶液等,這些介質需具備良好的熱穩(wěn)定性和流動性,以確保熱量在模塊與散熱部件之間傳遞。同時,系統的循環(huán)結構設計也對散熱效率有影響,全密閉的循環(huán)回路可減少介質揮發(fā)和外界污染物的侵入,而磁力驅動泵的應用則能降低泄漏風險,保證介質在回路中的穩(wěn)定流動,提升散熱的持續(xù)性。
在散熱方式上,溫控測試系統會根據模塊的功率密度和散熱需求,采用液冷、直冷或氣冷等不同方案。液冷系統通過板式或微通道換熱器,利用冷卻水流帶走熱量,適用于中高功率模塊的散熱;直冷系統則將制冷劑直接引入與模塊接觸的換熱器,通過制冷劑的蒸發(fā)吸熱實現快速降溫,尤其適合高熱流密度場景;氣冷系統則通過強制循環(huán)的冷空氣與模塊表面進行熱交換,結構相對簡單,適用于中小功率模塊的測試。這些散熱方式的合理選擇,可確保模塊在測試過程中始終處于設定的溫度范圍內,為性能評估提供穩(wěn)定的熱環(huán)境。
確保大功率器件穩(wěn)定運行,除了散熱,還離不開準確的溫度控制能力。功率半導體模塊溫控測試系統通過集成多種傳感器,實時監(jiān)測模塊溫度、散熱介質溫度、流量、壓力等關鍵參數,并將這些信息反饋至控制系統??刂葡到y采用成熟的算法,如 PID 控制、前饋控制等,根據設定溫度與實際監(jiān)測溫度的偏差,動態(tài)調節(jié)加熱或制冷裝置的輸出,使模塊溫度保持在目標范圍內。這種閉環(huán)控制機制可應對模塊功率波動帶來的熱沖擊,避免溫度驟升驟降對測試結果的干擾,同時也能模擬實際應用中可能出現的溫度變化曲線,如快速溫變、循環(huán)溫變等,驗證模塊的溫度適應性。
在實際應用中,功率半導體模塊溫控測試系統的性能直接影響測試結果的準確性和可靠性。在模塊的老化測試中,系統需在長時間內維持穩(wěn)定的溫度環(huán)境,以觀察模塊性能隨時間的退化趨勢。
功率半導體模塊溫控測試系統通過成熟的散熱機制和準確的溫度控制,為大功率器件的性能測試和可靠性評估提供了關鍵支持。其散熱的能力確保模塊在高功率運行時產生的熱量及時散出,避免過熱損壞;準確的溫控能力則為模塊創(chuàng)造了穩(wěn)定、可控的熱環(huán)境,使測試結果更接近實際應用場景。

雙通道系列 Dual Channel Chiller
FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制,公司在系統中應用多種算法(PID、前饋PID、無模型自建樹算法),顯著提升系統的響應速度、控制精度和穩(wěn)定性。
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ZLTZ直冷控溫機組Chiller
ZLTZ直冷控溫機組Chiller適合應?于微通道反應器、板式換熱器、冷板、熱沉板、管式反應器等換熱?積?、制冷量?、溫差?的控溫需求場所;設備可?動回收導熱介質;
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單通道系列 Single Channel Chiller
FLTZ系列單通道Chillers主要應用與半導體生產過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制,公司在系統中應用多種算法(PID、前饋PID、無模型自建樹算法),實現系統快速響應、較高的控制精度。
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三通道系列 Triple Channel Chiller
FLTZ系列三通道Chillers主要應用與半導體生產過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制,系統支持三個通道獨立控溫,每個通道有獨立的溫度范圍、冷卻加熱能力、導熱介質流量等。
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ZLJ/SLJ系列超低溫直冷機
適用范圍 將制冷系統中的制冷劑直接輸出蒸發(fā)進??標控制元件(換熱器)換熱,從?使?標控制對象降溫。具備換熱能力相對于流體(?體)輸送?換熱器換熱能?更??般在5倍以上,這樣特別適?于換熱器換熱?積?,但是換熱量?的運?場所。 也可以如?體捕集運?,將制冷劑直接通?捕集器蒸發(fā),通過捕集器表?冷凝效應,迅速捕集空間中的?體。 …
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真空控溫卡盤Chuck
冠亞恒溫LNEYA真空控溫卡盤Chuck提供8寸卡盤、12寸卡盤以及非標定制方形冷板,支持-70~+200℃寬溫度范圍,也可以定制各種其他溫度范圍,內置多個溫度傳感器,多區(qū)控溫,精確FID調節(jié)控溫;支持直冷、液冷、?冷;
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面板系列Panel Chiller
面板系列Chiller應?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等,支持?流量?負載,確保極端?況下持續(xù)穩(wěn)定運?;支持冷卻?動態(tài)調節(jié)系統,可根據環(huán)境溫度與設備熱負荷,實時調節(jié)?溫。
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帕爾貼Chiller
冠亞恒溫LNEYA 帕爾貼熱電制冷器CHILLER溫度范圍從-20到90℃,專為半導體行業(yè)度身定制; 基于經過實踐驗證的帕爾貼熱傳導原理,帕爾貼溫度控制系統能夠為等離子刻蝕應用提供可重復性的溫度控制;
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ETCU換熱控溫單元
ETCU換熱控溫單元冷卻?溫度范圍:+5℃?+90℃,控溫精度±0.05℃;系統?壓縮機,通過換熱降溫;?持?標定制,?持PC遠程控制;采?西??/霍尼?爾調節(jié)閥控制冷卻?流量;最?循環(huán)量時,控溫溫度與冷卻?溫度溫差15°C。
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