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      面板系列Panel Chiller

      面板系列Panel Chiller

      適用范圍

      面板系列Chiller應?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等,支持?流量?負載,確保極端?況下持續(xù)穩(wěn)定運?;支持冷卻?動態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng),可根據(jù)環(huán)境溫度與設備熱負荷,實時調(diào)節(jié)?溫。
      采用變頻智能節(jié)能控制,減少?效能耗;全?動補液與?質(zhì)管理,缺液時?動補液;符合三通道?藝設計要求,確保信號/流體的獨?傳輸與精準控制。

      全國服務熱線 400-100-3163

      雙通道Panel Chiller

      型號 FLTZ-203W-2T
      管道 通道1 通道2
      溫度范圍 -20℃~+90℃ -20℃~+90℃
      控溫精度 ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設備)
      制冷量 4kW@-10℃ 4kW@-10℃
      加熱能力 2kW 2kW
      流量/壓力 MAX 20L/min 0.5MPa 20L/min 0.5MPa
      導熱介質(zhì)接口 Rc3/4 Rc3/4
      環(huán)境溫度 10~35℃ 10~35℃
      環(huán)境濕度 30~70% 30~70%
      冷卻水溫度 15~20℃ 15~20℃
      冷卻水流量 20L/min 20L/min
      斷路器 30A
      ?藝過程溫度控制 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度(動態(tài)控溫)
      重量 400kg
      外形尺寸 cm 50*90*160

      三通道Panel Chiller

      型號 FLTZ-203W/ETCU-008W
      管道 通道1 通道2 通道3
      溫度范圍 -10℃~+60℃ +30℃~+80℃ -10℃~+80℃
      溫度穩(wěn)定度 ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設備)
      冷卻能力 4kW@-10℃/21kW@+20℃ 6 kW@+30℃ 3kW@-10℃
      加熱能力 4kW 4.5+6kW 3kW
      流量/壓力 MAX 17L/min 0.7MPa 17L/min 0.7MPa 17L/min 0.7MPa
      導熱介質(zhì)接口 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4
      環(huán)境溫度 10~35 ℃ 10~35 ℃ 10~35 ℃
      環(huán)境濕度 30~70% 30~70% 30~70%
      冷卻水溫度 15~20℃ 15~20℃ 15~20℃
      冷卻水流量 30L/min@15~20℃ 15L/min@15~20℃ 15L/min@15~20℃
      斷路器 100A
      ?藝過程溫度控制 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度
      重量 600kg
      外形尺寸 cm 60*100*170

      行業(yè)應用

      半導體FAB工藝過程控溫解決方案

      半導體制造是一個對環(huán)境要求極高的過程,許多工藝步驟對溫度非常敏感。

      精確的溫度控制能夠確保沉積的薄膜厚度均勻、成分準確,從而提高芯片的性能和良率。

      半導體封測工藝過程控溫解決方案

      半導體封測工藝是半導體生產(chǎn)流程中的關鍵環(huán)節(jié),包括晶圓測試、芯片封裝和封裝后測試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性,還需要對溫度進行嚴格控制,以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。

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