半導(dǎo)體溫控裝置Chiller 主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測(cè)試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制，控溫范圍：-45℃～+90℃；控溫精度：±0.05℃。公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。

chiller 的排吸氣溫度（壓力）、冷凝溫度、冷卻水溫度（壓力）、進(jìn)出液體（氣體）溫度（壓力）、用電功率、各部件電流、電壓、水箱液位等重要信息均通過傳感器接入控制系統(tǒng)進(jìn)行全面管理監(jiān)控記錄。

半導(dǎo)體溫控裝置Chiller 主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測(cè)試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制，控溫范圍：-100℃～+90℃；控溫精度：±0.05℃。低溫采用復(fù)疊制冷系統(tǒng)，制冷速度快，溫度低；公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。
 

產(chǎn)品采用無壓縮機(jī)制冷系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)控溫范圍：5℃～+90℃；控溫精度：±0.05℃。

chiller 的排吸氣溫度（壓力）、冷凝溫度、冷卻水溫度（壓力）、進(jìn)出液體（氣體）溫度（壓力）、用電功率、各部件電流、電壓、水箱液位等重要信息均通過傳感器接入控制系統(tǒng)進(jìn)行全面管理監(jiān)控記錄。
 

多通道獨(dú)?控溫，可以具備單獨(dú)的溫度范圍、冷卻加熱能?、導(dǎo)熱介質(zhì)流量等，采?獨(dú)?的兩套系統(tǒng)，根據(jù)所需的溫度范圍選擇采?蒸汽壓縮制冷，或者采?ETCU?壓縮機(jī)換熱系統(tǒng)，系統(tǒng)可通?膨脹罐、冷凝器、冷卻?系統(tǒng)等，可以有效減少設(shè)備尺?，減少操作步驟。