冷凍機(jī)-工業(yè)冷凍機(jī)-高低溫一體機(jī)
單通道系列 Single Channel Chiller
適用范圍
FLTZ系列單通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測(cè)試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無(wú)模型自建樹算法），實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。
Chillers的排吸氣溫度（壓力）、冷凝溫度、冷卻水溫度（壓力）、進(jìn)出液體（氣體）溫度（壓力）、用電功率、各部件電流、電壓、水箱液位等重要信息均通過傳感器接入控制系統(tǒng)進(jìn)行全面管理監(jiān)控記錄。
加載情況下控溫精度高，可在-100℃~+90℃之間任意切換，具有良好的溫度跟隨性；先進(jìn)的低溫制冷技術(shù)，支持-100℃~ -80℃超低溫控溫。
品頁(yè)特點(diǎn)圖標(biāo)-1.png)
產(chǎn)品參數(shù)
Product Parameter
FLTZ? 5℃～90℃
| 型號(hào) | FLTZ-002 FLTZ-002W |
FLTZ-003 FLTZ-003W |
FLTZ-004 FLTZ-004W |
FLTZ-006 FLTZ-006W |
FLTZ-008 FLTZ-008W |
FLTZ-010 FLTZ-010W |
FLTZ-015 FLTZ-015W |
| 溫度范圍 | 5℃～90℃ | ||||||
| 控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備） | ||||||
| 制冷量at10℃ | 6kW | 8kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW | 40kW |
| 內(nèi)循環(huán)液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 制冷劑 | R410A | ||||||
| 載冷劑 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、純凈水等（純凈水溫度需要控制10℃以上） | ||||||
| 進(jìn)出接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 |
| 冷卻水口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 | Rc1 | Rc1 1/8 |
| 冷卻水流量at20℃ | 1.5m3/h | 2m3/h | 2.5m3/h | 4m3/h | 4.5m3/h | 5.6m3/h | 9m3/h |
| ?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級(jí)算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫） | ||||||
| 外形尺寸 cm | 95*38*106 | 95*38*106 | 950*380*106 | 98*43*140 | 98*43*140 | 108*60*150 | 108*60*150 |
FLTZ? -25℃～+90℃
| 型號(hào) | FLTZ-202 FLTZ-202W |
FLTZ-203 FLTZ-203W |
FLTZ-204 FLTZ-204W |
FLTZ-206 FLTZ-206W |
FLTZ-208 FLTZ-208W |
FLTZ-210 FLTZ-210W |
FLTZ-215 FLTZ-215W |
| 溫度范圍 | ?-25℃～90℃ | ||||||
| 控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備） | ||||||
| 流量 MAX | 10～25L/min | 15～45L/min | 25～75L/min | ||||
| 制冷量at-15℃ | 2kW | 3kW | 3.8kW | 6kW | 7.6kW | 10kW | 15kW |
| 內(nèi)循環(huán)液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 制冷劑 | R404A | ||||||
| 載冷劑 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等 | ||||||
| 進(jìn)出接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 |
| 冷卻水接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 | Rc1 1/8 |
| 冷卻水流量at20℃ | 1.2m3/H | 1.6m3/H | 2.6m3/H | 3.6m3/H | 5.5m3/H | 7m3/H | 10.2m3/H |
| ?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級(jí)算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫） | ||||||
| 外形尺寸 cm | 95*38*106 | 95*38*106 | 95*38*106 | 98*43*140 | 98*43*140 | 108*60*150 | 108*60*150 |
FLTZ? -45℃～+90℃
| 型號(hào) | FLTZ-402 FLTZ-402W |
FLTZ-403 FLTZ-403W |
FLTZ-404 FLTZ-404W |
FLTZ-406 FLTZ-406W |
FLTZ-408 FLTZ-408W |
FLTZ-410 FLTZ-410W |
FLTZ-415 FLTZ-415W |
| 溫度范圍 | ?-45℃～90℃ | ||||||
| 控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備） | ||||||
| 流量/壓力 MAX | 10～25L/min? 5bar max | 15～45L/min 5bar max | 25～75L/min 5bar max | ||||
| 制熱 | 采用壓縮機(jī)制熱，防止冷凝器結(jié)霜技術(shù) | ||||||
| 制冷量at-35℃ | 1kW | 1.4kW | 1.8kW | 2.5kW | 3.3kW | 5kW | 8kW |
| 內(nèi)循環(huán)液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 制冷劑 | R404A | ||||||
| 載冷劑 | 硅油、氟化液、乙醇水溶液等 | ||||||
| 進(jìn)出接口尺寸 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 |
| 冷卻水接口 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 | Rc1 | Rc1 1/8 |
| 冷卻水流量at20℃ | 1.5m3/H | 2.4m3/H | 3.5m3/H | 5m3/H | 5.5m3/H | 6m3/H | 8m3/H |
| ?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級(jí)算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫） | ||||||
| 外形尺寸 cm | 95*38*106 | 95*38*106 | 95*38*106 | 98*43*140 | 98*43*140 | 108*50*150 | 108*50*150 |
FLTZ? -80℃～+90℃
| 型號(hào) | FLTZ-803W | FLTZ-805W | FLTZ-806W | FLTZ-808W | FLTZ-810W |
| 溫度范圍 | ?-80℃～+90℃ | ||||
| 控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備） | ||||
| 流量/壓力 MAX | 7～25L/min? 5bar | 12～45L/min 6bar | |||
| 制冷量at-70℃ | 0.6kW | 1kW | 1.5kW | 2kW | 3kW |
| 加熱功率 | 2kW | 2kW | 2kW | 3.5kW | 3.5kW |
| 內(nèi)循環(huán)液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L |
| 導(dǎo)熱介質(zhì) | 氟化液 | ||||
| 進(jìn)出接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 冷卻水接口 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 |
| 冷卻水a(chǎn)t20℃ | 1.8m3/h | 2.5m3/h | 3m3/h | 5m3/h | 6m3/h |
| 斷路器 | 25A | 25A | 32A | 40A | 50A |
| ?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級(jí)算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫） | ||||
FLTZ? -100℃～+90℃
| 型號(hào) | FLTZ-1002W | FLTZ-1004W |
| 溫度范圍 | ?-100℃～+90℃ | |
| 控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備） | |
| 流量 MAX | 7～25L/min | 12～45L/min |
| 制冷量at-90℃ | 1.5kW | 3kW |
| 加熱功率 | 3.5kW | 5.5kW |
| 內(nèi)循環(huán)液容積 | 5L | 8L |
| 膨脹罐容積 | 10L | 15L |
| 導(dǎo)熱介質(zhì) | 氟化液 | |
| 導(dǎo)熱介質(zhì)接口 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 冷卻水接口 | Rc3/4 | Rc1 |
| 冷卻水a(chǎn)t20℃ | 50L/min 2bar~7bar | 100L/min 2bar~7bar |
| 斷路器 | 32A | 63A |
| ?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級(jí)算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫） | |
| 型號(hào) | FLTZ-001S | FLTZ-002S FLTZ-002WS |
FLTZ-003S FLTZ-003WS |
FLTZ-004S FLTZ-004WS |
FLTZ-006S FLTZ-006WS |
?FLTZ-008WS | FLTZ-010WS |
| 溫度范圍 | 15℃～25℃ | ||||||
| 控溫精度 | ±0.005℃? 設(shè)備出口溫度控制精度 | ||||||
| 流量 | 7L/min 3bar | 15L/min? at 4bar | 30L/min at 4bar | 75L/min? at? 4bar | |||
| 制熱 | 采用壓縮機(jī)制熱，防止冷凝器結(jié)霜技術(shù) | ||||||
| 制冷量@20℃ | 3kW | 7kW | 10.5kW | 14kW | 21kW | 28kW | ?35kW |
| 液體容積 | 8L | 15L | 20L | 30L | 50L | 60L | 80L |
| 制冷劑 | R1234fa???? （ODP=0?? GWP=4） | ||||||
| 載冷劑 | 純凈水 | ||||||
| 控制器 | PLC，模糊PID控制算法，具備串級(jí)控制算法 | ||||||
| 溫度控制 | 導(dǎo)熱介質(zhì)出口溫度控制模式 pt100 | ||||||
| 外接溫度傳感器：（PT100或4～20mA或通信給定）控制模式（串級(jí)控制） | |||||||
| 通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | ||||||
| RS485接口 modbus RTU協(xié)議 | |||||||
| 設(shè)備內(nèi)部溫度反饋 | 設(shè)備導(dǎo)熱介質(zhì)出口溫度、介質(zhì)進(jìn)口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、壓縮機(jī)排吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設(shè)備有） | ||||||
| 系統(tǒng)壓力 | 制冷系統(tǒng)壓力采集高低壓壓力傳感器 | ||||||
| 循環(huán)系統(tǒng)壓力采集進(jìn)出口位置采用壓力傳感器 | |||||||
| 循環(huán)泵 | 磁力無(wú)機(jī)械密封循環(huán)泵 | ||||||
| 蒸發(fā)器 | 板式換熱器 | ||||||
| 冷凝器 | 微通道冷凝器（風(fēng)冷） | ||||||
| 板式換熱器（水冷），特別注意：需要使用清潔廠務(wù)水 | |||||||
| 制冷節(jié)流 | 電子膨脹閥 | ||||||
| 操作面板 | 7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示\EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | ||||||
| 安全防護(hù) | 具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過載保護(hù)；壓力保護(hù)，過載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。 | ||||||
| 系統(tǒng)撿漏 | 制冷系統(tǒng)100%氦檢出廠? 循環(huán)系統(tǒng)100%氦檢出廠 | ||||||
| 進(jìn)出接口尺寸 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 |
| 冷卻水接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 |
| 外殼 | 冷軋板噴塑RAL7035 | ||||||
所有設(shè)備額定測(cè)試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進(jìn)?溫度：20℃；出?溫度：25℃。
行業(yè)應(yīng)用
APPLICATION
體.jpg)
半導(dǎo)體FAB工藝過程控溫解決方案
半導(dǎo)體制造是一個(gè)對(duì)環(huán)境要求極高的過程，許多工藝步驟對(duì)溫度非常敏感。
精確的溫度控制能夠確保沉積的薄膜厚度均勻、成分準(zhǔn)確，從而提高芯片的性能和良率。
體封測(cè).jpg)
半導(dǎo)體封測(cè)工藝過程控溫解決方案
半導(dǎo)體封測(cè)工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測(cè)試、芯片封裝和封裝后測(cè)試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對(duì)溫度進(jìn)行嚴(yán)格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。
