什么是半導(dǎo)體行業(yè)用的面板系列Panel Chiller？

半導(dǎo)體面板Chiller 是用于半導(dǎo)體制造和顯示面板（如LCD/OLED）生產(chǎn)中的高精度冷卻設(shè)備，主要功能是為關(guān)鍵工藝設(shè)備提供穩(wěn)定的溫度控制，確保生產(chǎn)質(zhì)量和效率。

　　一、什么是面板系列Panel Chiller？

　　半導(dǎo)體行業(yè)用的面板系列Panel Chiller應(yīng)?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜工藝等，支持大流量高負(fù)載，確保嚴(yán)苛工況下持續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行；支持冷卻水動態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可根據(jù)環(huán)境溫度與設(shè)備熱負(fù)荷，實(shí)時調(diào)節(jié)?溫。

　　半導(dǎo)體行業(yè)用的面板系列Panel Chiller采用變頻智能控制，減少無效能耗；全動補(bǔ)液與?質(zhì)管理，缺液時自動補(bǔ)液；符合三通道工藝設(shè)計要求，確保信號/流體的獨(dú)?傳輸與準(zhǔn)確控制。

　　二、面板系列Panel Chiller應(yīng)用工藝

　　面板系列Panel Chiller（工業(yè)冷水機(jī)）：一種通過制冷循環(huán)系統(tǒng)提供低溫冷卻水的設(shè)備，廣泛應(yīng)用于工業(yè)溫控。

　　半導(dǎo)體面板：可能指兩類場景：

　　半導(dǎo)體制造：如晶圓加工中的光刻、蝕刻等設(shè)備冷卻。

　　顯示面板制造：如LCD/OLED生產(chǎn)中的蒸鍍、曝光等環(huán)節(jié)溫控。

　　三、面板系列Panel Chiller應(yīng)用場景

　　半導(dǎo)體制造中的Chiller

　　作用：冷卻光刻機(jī)、離子注入機(jī)、蝕刻機(jī)等，維持設(shè)備恒溫（±0.1℃精度）。

　　需求：超純水冷卻、防腐蝕材料（如不銹鋼）、抗振動設(shè)計。

　　顯示面板（面板行業(yè)）中的Chiller

　　作用：控制蒸鍍機(jī)、激光切割、OLED蒸鍍等設(shè)備的溫度，避免熱變形。

　　特點(diǎn)：高能效比、快速降溫能力，應(yīng)對大面積面板均勻冷卻需求。

　　四、面板系列Panel Chiller技術(shù)特點(diǎn)

　　高精度溫控：采用PID算法或變頻技術(shù)，控溫范圍:+15~+30℃℃，控溫精度±0.1°C。

　　滿足需求：支持大流量大負(fù)載需求，控溫穩(wěn)定性高

　　支持多通道：支持相關(guān)工藝三通道需求，升降溫速率快

　　穩(wěn)定性：兩級閉環(huán)節(jié)能控制，具備自動補(bǔ)液功能

　　五、面板系列Panel Chiller常見類型

　　風(fēng)冷式Chiller：適合水資源有限的區(qū)域，散熱依賴風(fēng)扇。

　　水冷式Chiller：效率更高，需搭配冷卻塔使用。

　　超低溫Chiller：用于特殊工藝（如某些激光設(shè)備），可達(dá)-40℃以下。

　　六、面板系列Panel Chiller的行業(yè)重要性

　　半導(dǎo)體：溫度波動可能導(dǎo)致晶圓缺陷，影響芯片良率。

　　顯示面板：溫度不均會導(dǎo)致色彩偏差、面板壽命縮短。

　　隨著科技的不斷發(fā)展，半導(dǎo)體面板Chiller的性能將不斷提升，控溫精度和冷卻效率將進(jìn)一步提高。同時，隨著新能源、新材料等領(lǐng)域的快速發(fā)展，半導(dǎo)體Chiller的應(yīng)用領(lǐng)域也將不斷拓展。

雙通道系列 Dual Channel Chiller

FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應(yīng)速度、控制精度和穩(wěn)定性。

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單通道系列 Single Channel Chiller

FLTZ系列單通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。

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三通道系列 Triple Channel Chiller

FLTZ系列三通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制，系統(tǒng)支持三個通道獨(dú)立控溫，每個通道有獨(dú)立的溫度范圍、冷卻加熱能力、導(dǎo)熱介質(zhì)流量等。

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面板系列Panel Chiller

面板系列Chiller應(yīng)?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等，支持?流量?負(fù)載，確保極端?況下持續(xù)穩(wěn)定運(yùn)?；支持冷卻?動態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可根據(jù)環(huán)境溫度與設(shè)備熱負(fù)荷，實(shí)時調(diào)節(jié)?溫。

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