Chiller高精度冷熱循環(huán)器
適用范圍
FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應(yīng)速度、控制精度和穩(wěn)定性。
每個通道具備單獨的溫度范圍、冷卻加熱能力、導(dǎo)熱介質(zhì)流量等，采用獨立的兩套系統(tǒng)，根據(jù)所需的溫度范圍選擇采用蒸汽壓縮制冷，或者采用ETCU無壓縮機換熱系統(tǒng)，系統(tǒng)可通用膨脹罐、冷凝器、冷卻水系統(tǒng)等，可以有效減少設(shè)備尺寸，減少操作步驟。
加載情況下控溫精度可達士0.1℃，可在-45℃~+90℃之間任意切換，具有良好的溫度跟隨性。
品頁特點圖標-1.png)
產(chǎn)品參數(shù)
Product Parameter
| 型號 | FLTZ-203W-2T | |
| 管道 | 通道1 | 通道2 |
| 溫度范圍 | -20℃～+90℃ | -20℃～+90℃ |
| 控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備） | |
| 制冷量 | 4kW@-10℃ | 4kW@-10℃ |
| 加熱能力 | 2kW | 2kW |
| 流量/壓力 MAX | 20L/min 0.5MPa | 20L/min 0.5MPa |
| 導(dǎo)熱介質(zhì)接口 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 環(huán)境溫度 | 10～35℃ | 10～35℃ |
| 環(huán)境濕度 | 30～70% | 30～70% |
| 冷卻水溫度 | 15～20℃ | 15～20℃ |
| 冷卻水流量 | 20L/min | 20L/min |
| 斷路器 | 30A | |
| ?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度（動態(tài)控溫） | |
| 重量 | 400kg | |
| 外形尺寸 cm | 50*90*160 | |
| 型號 | FLTZ-406W/ETCU-015W | |
| 管道 | 通道1 | 通道2 |
| 溫度范圍 | -45℃～+40℃ | +10℃～+80℃ |
| 溫度穩(wěn)定度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備） | |
| 冷卻能力 | 11kW@-20℃ 5kW@-40℃ |
13kW@+10℃ |
| 加熱能力 | 2kW | 6kW |
| 流量/壓力 MAX | 17L/min 0.7MPa | 17L/min 0.7MPa |
| 導(dǎo)熱介質(zhì)接口 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 環(huán)境溫度 | 10～35℃ | 10～35℃ |
| 環(huán)境濕度 | 30～70% | 30～70% |
| 冷卻水溫度 | 15～20℃ | 15～20℃ |
| 冷卻水流量 | 40L/min | 20L/min |
| 斷路器 | 80A | |
| ?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度（動態(tài)控溫） | |
| 重量 | 550kg | |
| 外形尺寸 cm | 60*100*185 | |
| 型號 | FLTZ-203W/2T雙系統(tǒng) | FLTZ-305W/2T? 雙系統(tǒng) | FLTZ-406W/2T? 雙系統(tǒng) | |||
| 溫度范圍 | -20℃~90℃ | ?-30℃~90℃ | -45℃~90℃ | |||
| 控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備） | |||||
| 流量/壓力 MAX | 15~45L/min 6bar | |||||
| 制熱 | 2.5kW | 2.5kW | 2.5kW | 2.5kW | 3.5kW | 3.5kW |
| 制冷量 | 3kW at-15℃ | 3kW at-15℃ | 5kW at-15℃ | 5kW at-15℃ | 2.5kW at -35℃ | 2.5kW at -35℃ |
| 內(nèi)循環(huán)液容積 | 5L | 5L | 8L | 8L | 8L | 8L |
| 膨脹罐容積 | 15L | 25L | 25L | |||
| 導(dǎo)熱介質(zhì) | 氟化液、防凍液、導(dǎo)熱硅油等 | |||||
| 制冷劑 | R404A/ R448 | |||||
| 導(dǎo)熱介質(zhì)接口 | Rc3/4 | |||||
| 冷卻水接口 | Rc3/4 | |||||
| 冷卻水 | 50L/min at20℃ | 60L/min at20℃ | 50L/min at20℃ | |||
| 電源 | 三相220V? /? 三相400V? /三相460V | |||||
| ?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度（動態(tài)控溫） | |||||
| 型號 | FLTZH-5W/2T | ||
| 介質(zhì)溫度范圍 | 40℃～+250℃ | ||
| 控制系統(tǒng) | PLC控制器 | ||
| 溫控點控制模式 | 本體出液口溫控控制模式 本體回液口溫度控制模式 CHUCK入口溫度控制模式（通信） CHUCK回口溫度控制模式（通信） CHUCK本體溫度控制模式（通信） |
||
| 溫差控制 | 可設(shè)定控制目標控制溫度點與本體出液口溫度溫差 | ||
| 通信協(xié)議 | MODBUS RTU 協(xié)議 ?RS485接口，以太網(wǎng)接口 | ||
| 外接入溫度反饋 | 通過通信 | ||
| 介質(zhì)出口溫控精度 | ±0.1℃ | ||
| CHUCK溫控精度 | ±0.5℃ | ||
| 加熱功率 | 5.5kW | 5.5kW | |
| 冷卻能力 kW? AT | 250 ℃ | 5.5kW | 5.5kW |
| 150 ℃ | 5kW | 5kW | |
| 100 ℃ | 4kW | 4kW | |
| 50 ℃ | 2kW | 2kW | |
| 流量/壓力 | 8L/min 4bar | 8L/min 4bar | |
| 操作面板 | 7寸觸摸屏 | ||
| 安全防護 | 具有自我診斷功能；相序斷相保護器、電流監(jiān)控、漏水報警、加熱系統(tǒng)三重保護、進出液口壓力監(jiān)控及斷流保護 | ||
| 密閉循環(huán)系統(tǒng) | 整個系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，高溫時不會有油霧、低溫不吸收空氣中水份，系統(tǒng)在運行中不會因為高溫使壓力上升，低溫自動補充導(dǎo)熱介質(zhì)。 | ||
| 接口尺寸 | Rc1/2 | Rc1/2 | |
| 冷卻水接口 | Rc1/2 | ||
| 冷卻水流量 | 10L/min max? at 25℃ | ||
| 導(dǎo)熱介質(zhì) | 氟化液 | ||
| 外形尺寸 cm | 45*85*145（可定制化） | ||
| 重量kg | 約40KG | ||
| 電源 | 220V 三相四線制 32A | ||
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑RAL7035 | ||
額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進?溫度：20℃；出?溫度：25℃。
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Chiller高精度冷熱循環(huán)器
適用范圍
FLTZ系列單通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。
Chillers的排吸氣溫度（壓力）、冷凝溫度、冷卻水溫度（壓力）、進出液體（氣體）溫度（壓力）、用電功率、各部件電流、電壓、水箱液位等重要信息均通過傳感器接入控制系統(tǒng)進行全面管理監(jiān)控記錄。
加載情況下控溫精度高，可在-100℃~+90℃之間任意切換，具有良好的溫度跟隨性；先進的低溫制冷技術(shù)，支持-100℃~ -80℃超低溫控溫。
產(chǎn)品參數(shù)
Product Parameter
FLTZ? 5℃～90℃
| 型號 | FLTZ-002 FLTZ-002W |
FLTZ-003 FLTZ-003W |
FLTZ-004 FLTZ-004W |
FLTZ-006 FLTZ-006W |
FLTZ-008 FLTZ-008W |
FLTZ-010 FLTZ-010W |
FLTZ-015 FLTZ-015W |
| 溫度范圍 | 5℃～90℃ | ||||||
| 控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備） | ||||||
| 制冷量at10℃ | 6kW | 8kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW | 40kW |
| 內(nèi)循環(huán)液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 制冷劑 | R410A | ||||||
| 載冷劑 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、純凈水等（純凈水溫度需要控制10℃以上） | ||||||
| 進出接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 |
| 冷卻水口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 | Rc1 | Rc1 1/8 |
| 冷卻水流量at20℃ | 1.5m3/h | 2m3/h | 2.5m3/h | 4m3/h | 4.5m3/h | 5.6m3/h | 9m3/h |
| ?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度（動態(tài)控溫） | ||||||
| 外形尺寸 cm | 95*38*106 | 95*38*106 | 950*380*106 | 98*43*140 | 98*43*140 | 108*60*150 | 108*60*150 |
FLTZ? -25℃～+90℃
| 型號 | FLTZ-202 FLTZ-202W |
FLTZ-203 FLTZ-203W |
FLTZ-204 FLTZ-204W |
FLTZ-206 FLTZ-206W |
FLTZ-208 FLTZ-208W |
FLTZ-210 FLTZ-210W |
FLTZ-215 FLTZ-215W |
| 溫度范圍 | ?-25℃～90℃ | ||||||
| 控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備） | ||||||
| 流量 MAX | 10～25L/min | 15～45L/min | 25～75L/min | ||||
| 制冷量at-15℃ | 2kW | 3kW | 3.8kW | 6kW | 7.6kW | 10kW | 15kW |
| 內(nèi)循環(huán)液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 制冷劑 | R404A | ||||||
| 載冷劑 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等 | ||||||
| 進出接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 |
| 冷卻水接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 | Rc1 1/8 |
| 冷卻水流量at20℃ | 1.2m3/H | 1.6m3/H | 2.6m3/H | 3.6m3/H | 5.5m3/H | 7m3/H | 10.2m3/H |
| ?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度（動態(tài)控溫） | ||||||
| 外形尺寸 cm | 95*38*106 | 95*38*106 | 95*38*106 | 98*43*140 | 98*43*140 | 108*60*150 | 108*60*150 |
FLTZ? -45℃～+90℃
| 型號 | FLTZ-402 FLTZ-402W |
FLTZ-403 FLTZ-403W |
FLTZ-404 FLTZ-404W |
FLTZ-406 FLTZ-406W |
FLTZ-408 FLTZ-408W |
FLTZ-410 FLTZ-410W |
FLTZ-415 FLTZ-415W |
| 溫度范圍 | ?-45℃～90℃ | ||||||
| 控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備） | ||||||
| 流量/壓力 MAX | 10～25L/min? 5bar max | 15～45L/min 5bar max | 25～75L/min 5bar max | ||||
| 制熱 | 采用壓縮機制熱，防止冷凝器結(jié)霜技術(shù) | ||||||
| 制冷量at-35℃ | 1kW | 1.4kW | 1.8kW | 2.5kW | 3.3kW | 5kW | 8kW |
| 內(nèi)循環(huán)液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 制冷劑 | R404A | ||||||
| 載冷劑 | 硅油、氟化液、乙醇水溶液等 | ||||||
| 進出接口尺寸 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 |
| 冷卻水接口 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 | Rc1 | Rc1 1/8 |
| 冷卻水流量at20℃ | 1.5m3/H | 2.4m3/H | 3.5m3/H | 5m3/H | 5.5m3/H | 6m3/H | 8m3/H |
| ?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度（動態(tài)控溫） | ||||||
| 外形尺寸 cm | 95*38*106 | 95*38*106 | 95*38*106 | 98*43*140 | 98*43*140 | 108*50*150 | 108*50*150 |
FLTZ? -80℃～+90℃
| 型號 | FLTZ-803W | FLTZ-805W | FLTZ-806W | FLTZ-808W | FLTZ-810W |
| 溫度范圍 | ?-80℃～+90℃ | ||||
| 控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備） | ||||
| 流量/壓力 MAX | 7～25L/min? 5bar | 12～45L/min 6bar | |||
| 制冷量at-70℃ | 0.6kW | 1kW | 1.5kW | 2kW | 3kW |
| 加熱功率 | 2kW | 2kW | 2kW | 3.5kW | 3.5kW |
| 內(nèi)循環(huán)液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L |
| 導(dǎo)熱介質(zhì) | 氟化液 | ||||
| 進出接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 冷卻水接口 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 |
| 冷卻水a(chǎn)t20℃ | 1.8m3/h | 2.5m3/h | 3m3/h | 5m3/h | 6m3/h |
| 斷路器 | 25A | 25A | 32A | 40A | 50A |
| ?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度（動態(tài)控溫） | ||||
FLTZ? -100℃～+90℃
| 型號 | FLTZ-1002W | FLTZ-1004W |
| 溫度范圍 | ?-100℃～+90℃ | |
| 控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備） | |
| 流量 MAX | 7～25L/min | 12～45L/min |
| 制冷量at-90℃ | 1.5kW | 3kW |
| 加熱功率 | 3.5kW | 5.5kW |
| 內(nèi)循環(huán)液容積 | 5L | 8L |
| 膨脹罐容積 | 10L | 15L |
| 導(dǎo)熱介質(zhì) | 氟化液 | |
| 導(dǎo)熱介質(zhì)接口 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 冷卻水接口 | Rc3/4 | Rc1 |
| 冷卻水a(chǎn)t20℃ | 50L/min 2bar~7bar | 100L/min 2bar~7bar |
| 斷路器 | 32A | 63A |
| ?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度（動態(tài)控溫） | |
| 型號 | FLTZ-001S | FLTZ-002S FLTZ-002WS |
FLTZ-003S FLTZ-003WS |
FLTZ-004S FLTZ-004WS |
FLTZ-006S FLTZ-006WS |
?FLTZ-008WS | FLTZ-010WS |
| 溫度范圍 | 15℃～25℃ | ||||||
| 控溫精度 | ±0.005℃? 設(shè)備出口溫度控制精度 | ||||||
| 流量 | 7L/min 3bar | 15L/min? at 4bar | 30L/min at 4bar | 75L/min? at? 4bar | |||
| 制熱 | 采用壓縮機制熱，防止冷凝器結(jié)霜技術(shù) | ||||||
| 制冷量@20℃ | 3kW | 7kW | 10.5kW | 14kW | 21kW | 28kW | ?35kW |
| 液體容積 | 8L | 15L | 20L | 30L | 50L | 60L | 80L |
| 制冷劑 | R1234fa???? （ODP=0?? GWP=4） | ||||||
| 載冷劑 | 純凈水 | ||||||
| 控制器 | PLC，模糊PID控制算法，具備串級控制算法 | ||||||
| 溫度控制 | 導(dǎo)熱介質(zhì)出口溫度控制模式 pt100 | ||||||
| 外接溫度傳感器：（PT100或4～20mA或通信給定）控制模式（串級控制） | |||||||
| 通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | ||||||
| RS485接口 modbus RTU協(xié)議 | |||||||
| 設(shè)備內(nèi)部溫度反饋 | 設(shè)備導(dǎo)熱介質(zhì)出口溫度、介質(zhì)進口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、壓縮機排吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設(shè)備有） | ||||||
| 系統(tǒng)壓力 | 制冷系統(tǒng)壓力采集高低壓壓力傳感器 | ||||||
| 循環(huán)系統(tǒng)壓力采集進出口位置采用壓力傳感器 | |||||||
| 循環(huán)泵 | 磁力無機械密封循環(huán)泵 | ||||||
| 蒸發(fā)器 | 板式換熱器 | ||||||
| 冷凝器 | 微通道冷凝器（風冷） | ||||||
| 板式換熱器（水冷），特別注意：需要使用清潔廠務(wù)水 | |||||||
| 制冷節(jié)流 | 電子膨脹閥 | ||||||
| 操作面板 | 7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示\EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | ||||||
| 安全防護 | 具有自我診斷功能；相序斷相保護器、冷凍機過載保護；壓力保護，過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。 | ||||||
| 系統(tǒng)撿漏 | 制冷系統(tǒng)100%氦檢出廠? 循環(huán)系統(tǒng)100%氦檢出廠 | ||||||
| 進出接口尺寸 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 |
| 冷卻水接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 |
| 外殼 | 冷軋板噴塑RAL7035 | ||||||
所有設(shè)備額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進?溫度：20℃；出?溫度：25℃。
Chiller高精度冷熱循環(huán)器
適用范圍
FLTZ系列三通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，系統(tǒng)支持三個通道獨立控溫，每個通道有獨立的溫度范圍、冷卻加熱能力、導(dǎo)熱介質(zhì)流量等。
公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度，加載情況下控溫精度可達±0.1C，可在-20℃~+100℃之間任意切換，具有良好的溫度跟隨性。
產(chǎn)品參數(shù)
Product Parameter
| 型號 | FLTZ-203W/ETCU-008W | ||
| 管道 | 通道1 | 通道2 | 通道3 |
| 溫度范圍 | -10℃～+60℃ | +30℃～+80℃ | -10℃～+80℃ |
| 溫度穩(wěn)定度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備） | ||
| 冷卻能力 | 4kW@-10℃/21kW@+20℃ | 6 kW@+30℃ | 3kW@-10℃ |
| 加熱能力 | 4kW | 4.5+6kW | 3kW |
| 流量/壓力 MAX | 17L/min 0.7MPa | 17L/min 0.7MPa | 17L/min 0.7MPa |
| 導(dǎo)熱介質(zhì)接口 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 環(huán)境溫度 | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| 環(huán)境濕度 | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| 冷卻水溫度 | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| 冷卻水流量 | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| 斷路器 | 100A | ||
| ?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度 | ||
| 重量 | 600kg | ||
| 外形尺寸 cm | 60*100*170 | ||
| 型號 | FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W | ||
| 管道 | 通道1 | 通道2 | 通道3 |
| 溫度范圍 | -20℃～+50℃ | +30℃～+100℃ | +30℃～+40℃ |
| 溫度穩(wěn)定度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備） | ||
| 冷卻能力 | 15kW@-10℃ | 13kW@PCW+15℃ | 8kW@PCW+10℃ |
| 加熱能力 | 2kW | 6kW | Pump Heat Loss |
| 流量/壓力 MAX | 30L/min 0.85MPa | 30L/min 0.85MPa | 20L/min 0.8MPa |
| 導(dǎo)熱介質(zhì)接口 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 環(huán)境溫度 | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| 環(huán)境濕度 | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| 冷卻水溫度 | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| 冷卻水流量 | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| 斷路器 | 75A | ||
| ?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度（動態(tài)控溫） | ||
| 重量 | 600kg | ||
| 外形尺寸 cm | 60*100*170 | ||
產(chǎn)品特點
Product Features
產(chǎn)品參數(shù)
Product Parameter
雙通道Panel Chiller
| 型號 | FLTZ-203W-2T | |
| 管道 | 通道1 | 通道2 |
| 溫度范圍 | -20℃～+90℃ | -20℃～+90℃ |
| 控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備） | |
| 制冷量 | 4kW@-10℃ | 4kW@-10℃ |
| 加熱能力 | 2kW | 2kW |
| 流量/壓力 MAX | 20L/min 0.5MPa | 20L/min 0.5MPa |
| 導(dǎo)熱介質(zhì)接口 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 環(huán)境溫度 | 10～35℃ | 10～35℃ |
| 環(huán)境濕度 | 30～70% | 30～70% |
| 冷卻水溫度 | 15～20℃ | 15～20℃ |
| 冷卻水流量 | 20L/min | 20L/min |
| 斷路器 | 30A | |
| ?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度（動態(tài)控溫） | |
| 重量 | 400kg | |
| 外形尺寸 cm | 50*90*160 | |
三通道Panel Chiller
| 型號 | FLTZ-203W/ETCU-008W | ||
| 管道 | 通道1 | 通道2 | 通道3 |
| 溫度范圍 | -10℃～+60℃ | +30℃～+80℃ | -10℃～+80℃ |
| 溫度穩(wěn)定度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備） | ||
| 冷卻能力 | 4kW@-10℃/21kW@+20℃ | 6 kW@+30℃ | 3kW@-10℃ |
| 加熱能力 | 4kW | 4.5+6kW | 3kW |
| 流量/壓力 MAX | 17L/min 0.7MPa | 17L/min 0.7MPa | 17L/min 0.7MPa |
| 導(dǎo)熱介質(zhì)接口 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 環(huán)境溫度 | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| 環(huán)境濕度 | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| 冷卻水溫度 | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| 冷卻水流量 | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| 斷路器 | 100A | ||
| ?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度 | ||
| 重量 | 600kg | ||
| 外形尺寸 cm | 60*100*170 | ||
產(chǎn)品參數(shù)
Product Parameter
LNEYA 帕爾貼熱電制冷器Chiller有五款款型號可選，為晶圓蝕刻工藝提供可靠和精確的溫度控制
- 高可靠性和低使用成本；工業(yè)空間占用率??；極低的導(dǎo)熱液填充量；
- 低能耗，沒有壓縮機和制冷劑的系統(tǒng)，同時只有在有負載時輸出，大幅度降低能耗；
- 制熱、直冷時，冷熱部件沒有與導(dǎo)熱液直接接觸；動態(tài)控溫，精準控制過程溫度，快速溫度響應(yīng)；
- 溫度漂移保護功能使得刻蝕的輪廓更加穩(wěn)定；改善Wafer-Wafer的穩(wěn)定性；模塊化部件使得維修更加方便；使用全氟液體。
| 型號 | TEC-1200W | TEC-2500W | TEC-4500W | |
| 溫度范圍 | -20℃~90℃ | |||
| 控溫精度 | ±0.1℃ | |||
| 制冷能力 | 20℃ | 1200W | 2450W | 4500W |
| 10℃ | 900W | 1925W | 3500W | |
| 0℃ | 600W | 1400W | 2600W | |
| ?-10℃ | 350W | 875W | 1600W | |
| ?-20℃ | 80W | 350W | 700W | |
| 制熱能力 | ＞3000W | ＞6000W | ＞12000W | |
| 泵類型 | 直流磁力泵 | |||
| 壓力（bar） | ≤4 | |||
| 流量 | 15L/min at 2bar | |||
| 流體 | Galden HT135 | |||
| 冷卻水溫度 | DI＜20℃ | |||
| 冷卻水流量 | ≥12L/min | ≥20L/min | ≥32L/min | |
| CDA開啟溫度 | ＜30℃ | |||
| CDA壓力 | 0.5-0.8bar | |||
| CDA流量 | 2-3m3/h | |||
| CDA露點溫度 | ≤30℃ | |||
| 電源電壓 | AC208V，三相電壓 | |||
Chiller高精度冷熱循環(huán)器
適用范圍
負壓型控溫系統(tǒng)通過負壓環(huán)境下的流體循環(huán)實現(xiàn)精準溫度控制，原理：通過負壓發(fā)?器驅(qū)動導(dǎo)熱介質(zhì)（?/油）循環(huán)，避免泄漏?險，適?于各種類型板卡冷卻。
核?技術(shù)與優(yōu)勢
防泄漏設(shè)計：系統(tǒng)運?時管路處于負壓狀態(tài)，即使管道破裂也不會泄漏?溫介質(zhì)，安全性?。
?效節(jié)能：全密閉循環(huán)，閉式循環(huán)，減少熱能損耗。
精準控溫：采?PID算法或PLC控制，實現(xiàn)溫度波動≤±0.3℃，適?于精密制造場景。
多場景適配：?持純?、氟化液、??醇?溶液等不同介質(zhì)，控溫范圍從常溫到80度
產(chǎn)品參數(shù)
Product Parameter
| 設(shè)備型號 | ZLFQ-80 | |
| 額定換熱量 | 80kW | |
| 一次側(cè) （介質(zhì)側(cè)） |
工作介質(zhì) | 純水、氟化液、乙二醇水溶液等 |
| 額定流量 | 300L/MIN | |
| 儲液容積 | 120L | |
| 供回液溫度 | 25/35℃ | |
| 溫控精度 | ±0.3℃ | |
| 真空泵抽氣量 | 130m3/h | |
| 負壓壓頭 | 70KPA | |
| 內(nèi)循環(huán)泵配置 | 1+1冗余 | |
| 接口尺寸 | Rc1 1/4 | |
| 二次側(cè) （冷卻側(cè)） |
冷卻介質(zhì) | PCW |
| 冷卻流量 | 4m3/h | |
| 過濾精度 | 50um | |
| 接口尺寸 | Rc1 | |
| 控制系統(tǒng) | PLC控制器，前饋調(diào)節(jié)+控滯后PID算法 | |
| 通訊協(xié)議 | RS485串口MODBUS RTU協(xié)議/以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |
| 供液泄露率 | 負壓循環(huán)無泄漏 | |
| 安全防護 | 具有自我診斷功能；設(shè)備過載保護；低液位保護等 | |
| 其他功能 | 自動泄露檢測、自動排液、自動補液等功能 | |
| 電源 | AC220V/50HZ，8A(max) | |
| 外形尺寸 cm | 130(L)*70(W)*185(H) | |
產(chǎn)品特點
Product Features
產(chǎn)品參數(shù)
Product Parameter
| 型號 | FLTZH-5W/2T | ||
| 介質(zhì)溫度范圍 | 40℃～+250℃ | ||
| 控制系統(tǒng) | PLC控制器 | ||
| 溫控點控制模式 | 本體出液口溫控控制模式 本體回液口溫度控制模式 CHUCK入口溫度控制模式（通信） CHUCK回口溫度控制模式（通信） CHUCK本體溫度控制模式（通信） |
||
| 溫差控制 | 可設(shè)定控制目標控制溫度點與本體出液口溫度溫差 | ||
| 通信協(xié)議 | MODBUS RTU 協(xié)議 ?RS485接口，以太網(wǎng)接口 | ||
| 外接入溫度反饋 | 通過通信 | ||
| 介質(zhì)出口溫控精度 | ±0.1℃ | ||
| CHUCK溫控精度 | ±0.5℃ | ||
| 加熱功率 | 5.5kW | 5.5kW | |
| 冷卻能力 kW? AT | 250 ℃ | 5.5kW | 5.5kW |
| 150 ℃ | 5kW | 5kW | |
| 100 ℃ | 4kW | 4kW | |
| 50 ℃ | 2kW | 2kW | |
| 流量/壓力 | 8L/min 4bar | 8L/min 4bar | |
| 操作面板 | 7寸觸摸屏 | ||
| 安全防護 | 具有自我診斷功能；相序斷相保護器、電流監(jiān)控、漏水報警、加熱系統(tǒng)三重保護、進出液口壓力監(jiān)控及斷流保護 | ||
| 密閉循環(huán)系統(tǒng) | 整個系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，高溫時不會有油霧、低溫不吸收空氣中水份，系統(tǒng)在運行中不會因為高溫使壓力上升，低溫自動補充導(dǎo)熱介質(zhì)。 | ||
| 接口尺寸 | G1/2 | G1/2 | |
| 冷卻水接口 | Rc1/2 | ||
| 冷卻水流量 | 10L/min max? at 25℃ | ||
| 導(dǎo)熱介質(zhì) | 氟化液 | ||
| 外形尺寸 cm | 45*85*145（可定制化） | ||
| 重量kg | 約40KG | ||
| 電源 | 220V 三相四線制 32A | ||
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑RAL7035 | ||
產(chǎn)品特點
Product Features
產(chǎn)品參數(shù)
Product Parameter
| 型號 | ETCU-005W | ETCU-015W | ETCU-030W | ETCU-050W | ETCU-100W | ETCU-200W | ETCU-300W |
| 溫度范圍 | 冷卻水溫度 +5℃~90℃ | ||||||
| 控溫精度 | ±0.05℃（出口溫度穩(wěn)態(tài)） | ||||||
| 冷卻水溫度 | 7℃~30℃ 采用西門子/霍尼韋爾調(diào)節(jié)閥控制冷卻水流量 | ||||||
| 冷卻能力 | 5kW | 15kW | 30kW | 50kW | 100kW | 200kW | 300kW |
| 測試條件：最大循環(huán)量時，控溫溫度與冷卻水溫度溫差15℃ | |||||||
| 流量/壓力 MAX | 7~20L/min 5bar | 15~40L/min 5bar | 20~60L/min 5bar | 40~110L/min 5bar | 150~250L/min 5bar | 250~500L/min 5bar | 400~650L/min 5bar |
| 儲罐容積 | 5L | 10L | 20L | 30L | 60L | 120L | 240L |
| 外形尺寸 cm | 48*75*39 | 48*75*39 | 48*75*50 | 定制 | 定制 | 定制 | 定制 |
產(chǎn)品推薦
Recommendation
產(chǎn)品特點
Product Features
產(chǎn)品參數(shù)
Product Parameter
| 性能對比 | 常規(guī)潤滑劑 | 全氟聚醚油 |
| 氧氣 | 緩慢氧化，產(chǎn)生酸或油泥劇烈氧化，著火或爆炸 | 不反應(yīng)、不燃燒 |
| 高溫 | 速氧化，積碳或結(jié)焦加速揮發(fā)、泄露 | 無積碳、不易揮發(fā)、不流失 |
| 水或潮濕環(huán)境 | 乳化，被水淋濕 | 不溶于水 |
| 化學物質(zhì) | 被酸、堿、有機溶劑等腐蝕 | 化學品穩(wěn)定性 |
| 接觸部件 | 腐蝕密封材料潤滑劑泄露，損壞設(shè)備 | 寬廣的材料相容性，無腐蝕 |
| 基礎(chǔ)油性 | CLKDOC138 | |
| 適用溫度范圍 | ℃ | / |
| ℉ | ＜-94~150 | |
| 粘度,cSt ASTM D445 |
20℃（68℉） | 7 |
| 40℃（104℉） | 4 | |
| 100℃（212℉） | / | |
| 粘度指數(shù), ASTM D2270 | / | |
| 傾點ASTM D97 | ℃ | ＜-70 |
| ℉ | ＜-94 | |
| 密度g/mL | 0℃（32℉） | 1.87 |
| 100℃（212℉） | 1.67 | |
| 蒸發(fā)損失 ASTM D972 22小時質(zhì)量損失 (wt%) |
66℃（150℉） | 11 |
| 121℃（250℉） | 87 | |
| 204℃（400℉） | / |
Chiller高精度冷熱循環(huán)器
適用范圍
氫氟醚是由氫、氟、氧和碳原子構(gòu)成的化合物，具有醚結(jié)構(gòu)，臭氧消耗潛能值ODP為零，全球暖化潛勢系數(shù)GWP低，且大氣停留時間很短，被認為是CFCs 理想替代品。除優(yōu)良的環(huán)境性質(zhì)外，氫氟醚還具有熱穩(wěn)定性和化學穩(wěn)定性、適度的溶解性、毒性低、無腐蝕性、不燃、不產(chǎn)生煙塵、材料兼容性好等特點，易于貯藏和運輸，被廣泛應(yīng)用于醫(yī)療、電子、金屬、精
密器械、光學鏡片、通信及航空航天等眾多領(lǐng)域。
氫氟醚CLKDOC78作為美國環(huán)境保護部（EPA）確定的氟利昂替代物清單（SNAP）清單中的清潔劑和冷媒，且已被EPA排除在揮發(fā)性有機化合物（VOC）之列?？捎糜趦x器、電子、半導(dǎo)體、醫(yī)療設(shè)備、航空航天等制造行業(yè)。
產(chǎn)品參數(shù)
Product Parameter
| 性 能 參 數(shù) | 單位 | CLKDOC78 | |
| 材料描述 | 成分 | C4F9OC2H5 | |
| Cas號 | 163702-06-5 | ||
| 分子量 | g/mol | 264 | |
| 純度 | % | 99.5 | |
| 非揮發(fā)物質(zhì)含量 | ppm | <2.0 | |
| 外觀 | 無色透明 | ||
| 理化性質(zhì) | 沸點 | ℃ | 76 |
| 傾點 | ℃ | -138 | |
| 臨界溫度臨界壓力 | ℃ | 210 | |
| 臨界壓力 | Mpa | 2.01 | |
| 蒸汽壓 | kPa | 14.5 | |
| 蒸發(fā)潛熱 | J/g | 126 | |
| 液體密度 | g/cm3 | 1.43 | |
| 比熱容 | J/Kg-K | 1220 | |
| 熱導(dǎo)率 | W/m-K | 0.069 | |
| 溶水性 | ppmw | 92 | |
| 介電強度0.1″gap | kV | >25 | |
| 介電常數(shù)@1kHz | / | 7.35 | |
| 體積電阻率 | Ohm-cm | 108 | |
| 環(huán)保與安全 | 臭氧層破壞潛值ODP | 0 | |
| 溫室效應(yīng)潛值GWP | 59 | ||
| 大氣壽命 | Year | 0.77 | |
| 閃點 | ℃ | 無 |