
半導(dǎo)體溫控裝置Chiller 主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制,產(chǎn)品有流體氟化液控溫(最低-100度)、氣體冷熱快速溫變、快速溫變卡盤、低溫氣體制冷機(jī)(-120度)、直冷型制冷機(jī)組(-150度)等。公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法(PID、前饋PID、無模型自建樹算法),實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。
chiller 的排吸氣溫度(壓力)、冷凝溫度、冷卻水溫度(壓力)、進(jìn)出液體(氣體)溫度(壓力)、用電功率、各部件電流、電壓、水箱液位等重要信息均通過傳感器接入控制系統(tǒng)進(jìn)行全面管理監(jiān)控記錄。
40℃以內(nèi)加熱方式采用壓縮機(jī)熱氣加熱。
chiller 循環(huán)系統(tǒng)采用全密閉設(shè)計(jì)、循環(huán)泵采用磁力驅(qū)動泵。
Chiller 100%氦檢測,100%安規(guī)檢測,確保系統(tǒng)安全可靠。
chiller 100%經(jīng)過24小時(shí)連續(xù)運(yùn)行拷機(jī)。
冷凝器 微通道換熱器(風(fēng)冷)板式換熱器(水冷)
蒸發(fā)器:板式換熱器
節(jié)流裝置:電子膨脹閥
控制系統(tǒng):PLC可編程控制器
通訊:RS485接口Modbus RTU協(xié)議
以太網(wǎng)接口 TCP/IP協(xié)議
操作界面:無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線顯示\EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出
循環(huán)系統(tǒng):整個系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng),低溫不吸收空氣中水份,不揮發(fā)導(dǎo)熱介質(zhì),低溫自動補(bǔ)充導(dǎo)熱介質(zhì)進(jìn)入循環(huán)系統(tǒng)。
外殼材質(zhì):冷軋板噴塑RAL7035
管路內(nèi)部含:不銹鋼SUS304、銅、陶瓷、碳化硅、硅酮密封膠、PTFE
| 型號 | FLTZ-202 FLTZ-202W | FLTZ-203 FLTZ-203W | FLTZ-204 FLTZ-204W | FLTZ-206 FLTZ-206W | FLTZ-208 FLTZ-208W | FLTZ-210 FLTZ-210W | FLTZ-215 FLTZ-215W |
| 溫度范圍 | -25℃~90℃ | ||||||
| 控溫精度 | ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備) | ||||||
| 流量 MAX | 10~25L/min | 15~45L/min | 25~75L/min | ||||
| 制冷量at-15℃ | 2kW | 3kW | 3.8kW | 6kW | 7.6kW | 10kW | 15kW |
| 內(nèi)循環(huán)液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 制冷劑 | R404A | ||||||
| 載冷劑 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等 | ||||||
| 進(jìn)出接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 |
| 冷卻水接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 | Rc1 1/8 |
| 冷卻水流量at20℃ | 1.2m3/H | 1.6m3/H | 2.6m3/H | 3.6m3/H | 5.5m3/H | 7m3/H | 10.2m3/H |
| ?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度(動態(tài)控溫) | ||||||
| 外形尺寸 cm | 90*45*113 | 90*45*113 | 90*45*113 | 105*50*140 | 105*50*140 | 108*60*150 | 108*60*150 |

溫度范圍-20℃~80℃內(nèi)循環(huán)液容積4L~10L膨脹罐容積10L~20L循環(huán)泵磁力循環(huán)泵蒸發(fā)器板式換熱器控溫精度±0.1℃ at -20℃~0℃
溫度范圍-40℃~80℃內(nèi)循環(huán)液容積4L~10L膨脹罐容積10L~20L循環(huán)泵磁力循環(huán)泵蒸發(fā)器板式換熱器控溫精度±0.1℃ at -40℃~-10℃
溫度范圍-60℃~80℃內(nèi)循環(huán)液容積4L~10L膨脹罐容積10L~20L循環(huán)泵磁力循環(huán)泵蒸發(fā)器板式換熱器控溫精度±0.1℃ -60℃~-30℃
溫度范圍-80℃~80℃內(nèi)循環(huán)液容積4L~10L膨脹罐容積10L~20L循環(huán)泵磁力循環(huán)泵蒸發(fā)器板式換熱器控溫精度±0.1℃ -80℃~80℃
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| 型號 | FLTZ-402 FLTZ-402W | FLTZ-403 FLTZ-403W | FLTZ-404 FLTZ-404W | FLTZ-406 FLTZ-406W | FLTZ-408 FLTZ-408W | FLTZ-410 FLTZ-410W | FLTZ-415 FLTZ-415W |
| 溫度范圍 | -45℃~90℃ | ||||||
| 控溫精度 | ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備) | ||||||
| 流量/壓力 MAX | 10~25L/min 5bar | 15~45L/min 5bar | 25~75L/min 5bar | ||||
| 制熱 | 采用壓縮機(jī)制熱,防止冷凝器結(jié)霜技術(shù) | ||||||
| 制冷量at-35℃ | 1kW | 1.4kW | 1.8kW | 2.5kW | 3.3kW | 5kW | 8kW |
| 內(nèi)循環(huán)液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 制冷劑 | R404A | ||||||
| 載冷劑 | 硅油、氟化液、乙醇水溶液等 | ||||||
| 進(jìn)出接口尺寸 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 |
| 冷卻水接口 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 | Rc1 | Rc1 1/8 |
| 冷卻水流量at20℃ | 1.5m3/H | 2.4m3/H | 3.5m3/H | 5m3/H | 5.5m3/H | 6m3/H | 8m3/H |
| ?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度(動態(tài)控溫) | ||||||
| 外形尺寸 cm | 90*45*113 | 90*45*113 | 90*45*113 | 105*50*140 | 105*50*140 | 108*60*150 | 108*60*150 |

溫度范圍-20℃~80℃內(nèi)循環(huán)液容積4L~10L膨脹罐容積10L~20L循環(huán)泵磁力循環(huán)泵蒸發(fā)器板式換熱器控溫精度±0.1℃ at -20℃~0℃
溫度范圍-40℃~80℃內(nèi)循環(huán)液容積4L~10L膨脹罐容積10L~20L循環(huán)泵磁力循環(huán)泵蒸發(fā)器板式換熱器控溫精度±0.1℃ at -40℃~-10℃
溫度范圍-60℃~80℃內(nèi)循環(huán)液容積4L~10L膨脹罐容積10L~20L循環(huán)泵磁力循環(huán)泵蒸發(fā)器板式換熱器控溫精度±0.1℃ -60℃~-30℃
溫度范圍-80℃~80℃內(nèi)循環(huán)液容積4L~10L膨脹罐容積10L~20L循環(huán)泵磁力循環(huán)泵蒸發(fā)器板式換熱器控溫精度±0.1℃ -80℃~80℃
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| 型號 | FLTZ-803W | FLTZ-805W | FLTZ-806W | FLTZ-808W | FLTZ-810W |
| 溫度范圍 | ?-80℃~+90℃ | ||||
| 控溫精度 | ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備) | ||||
| 流量/壓力 MAX | 7~25L/min? 5bar | 12~45L/min 6bar | |||
| 制冷量at-70℃ | 0.6kW | 1kW | 1.5kW | 2kW | 3kW |
| 加熱功率 | 2kW | 2kW | 2kW | 3.5kW | 3.5kW |
| 內(nèi)循環(huán)液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L |
| 導(dǎo)熱介質(zhì) | 氟化液 | ||||
| 進(jìn)出接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 冷卻水接口 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 |
| 冷卻水a(chǎn)t20℃ | 1.8m3/H | 2.5m3/H | 3m3/H | 5m3/H | 6m3/H |
| 斷路器 | 25A | 25A | 32A | 40A | 50A |
| ?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度(動態(tài)控溫) | ||||

溫度范圍-20℃~80℃內(nèi)循環(huán)液容積4L~10L膨脹罐容積10L~20L循環(huán)泵磁力循環(huán)泵蒸發(fā)器板式換熱器控溫精度±0.1℃ at -20℃~0℃
溫度范圍-40℃~80℃內(nèi)循環(huán)液容積4L~10L膨脹罐容積10L~20L循環(huán)泵磁力循環(huán)泵蒸發(fā)器板式換熱器控溫精度±0.1℃ at -40℃~-10℃
溫度范圍-60℃~80℃內(nèi)循環(huán)液容積4L~10L膨脹罐容積10L~20L循環(huán)泵磁力循環(huán)泵蒸發(fā)器板式換熱器控溫精度±0.1℃ -60℃~-30℃
溫度范圍-80℃~80℃內(nèi)循環(huán)液容積4L~10L膨脹罐容積10L~20L循環(huán)泵磁力循環(huán)泵蒸發(fā)器板式換熱器控溫精度±0.1℃ -80℃~80℃
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已經(jīng)是到最后一篇內(nèi)容了!

半導(dǎo)體溫控裝置Chiller 主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制,產(chǎn)品有流體氟化液控溫(最低-100度)、氣體冷熱快速溫變、快速溫變卡盤、低溫氣體制冷機(jī)(-120度)、直冷型制冷機(jī)組(-150度)等。公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法(PID、前饋PID、無模型自建樹算法),實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。
| 型號 | FLTZ-002 FLTZ-002W | FLTZ-003 FLTZ-003W | FLTZ-004 FLTZ-004W | FLTZ-006 FLTZ-006W | FLTZ-008 FLTZ-008W | FLTZ-010 FLTZ-010W | FLTZ-015 FLTZ-015W |
| 溫度范圍 | 5℃~90℃ | ||||||
| 控溫精度 | ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備) | ||||||
| 制冷量at10℃ | 6kW | 8kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW | 40kW |
| 內(nèi)循環(huán)液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 制冷劑 | R410A | ||||||
| 載冷劑 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、純凈水等(純凈水溫度需要控制10℃以上) | ||||||
| 進(jìn)出接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 |
| 冷卻水口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 | Rc1 | Rc1 1/8 |
| 冷卻水流量at20℃ | 1.5m3/h | 2m3/h | 2.5m3/h | 4m3/h | 4.5m3/h | 5.6m3/h | 9m3/h |
| ?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度(動態(tài)控溫) | ||||||
| 外形尺寸 cm | 97*40*108 | 97*40*108 | 97*40*108 | 105*43*140 | 105*43*140 | 108*60*150 | 108*60*150 |

溫度范圍-20℃~80℃內(nèi)循環(huán)液容積4L~10L膨脹罐容積10L~20L循環(huán)泵磁力循環(huán)泵蒸發(fā)器板式換熱器控溫精度±0.1℃ at -20℃~0℃
溫度范圍-40℃~80℃內(nèi)循環(huán)液容積4L~10L膨脹罐容積10L~20L循環(huán)泵磁力循環(huán)泵蒸發(fā)器板式換熱器控溫精度±0.1℃ at -40℃~-10℃
溫度范圍-60℃~80℃內(nèi)循環(huán)液容積4L~10L膨脹罐容積10L~20L循環(huán)泵磁力循環(huán)泵蒸發(fā)器板式換熱器控溫精度±0.1℃ -60℃~-30℃
溫度范圍-80℃~80℃內(nèi)循環(huán)液容積4L~10L膨脹罐容積10L~20L循環(huán)泵磁力循環(huán)泵蒸發(fā)器板式換熱器控溫精度±0.1℃ -80℃~80℃
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已經(jīng)是到最后一篇內(nèi)容了!
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