FLTZ -25℃～90℃

溫度范圍 -25℃～90℃
載冷劑硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
膨脹罐容積10L~35L
內(nèi)循環(huán)液容積4L~20L
制冷劑R404A
控溫精度±0.1℃

半導(dǎo)體溫控裝置Chiller 主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，產(chǎn)品有流體氟化液控溫（最低-100度)、氣體冷熱快速溫變、快速溫變卡盤、低溫氣體制冷機（-120度）、直冷型制冷機組（-150度）等。公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。

chiller 的排吸氣溫度（壓力）、冷凝溫度、冷卻水溫度（壓力）、進出液體（氣體）溫度（壓力）、用電功率、各部件電流、電壓、水箱液位等重要信息均通過傳感器接入控制系統(tǒng)進行全面管理監(jiān)控記錄。

40℃以內(nèi)加熱方式采用壓縮機熱氣加熱。
chiller 循環(huán)系統(tǒng)采用全密閉設(shè)計、循環(huán)泵采用磁力驅(qū)動泵。
Chiller 100%氦檢測，100%安規(guī)檢測，確保系統(tǒng)安全可靠。
chiller 100%經(jīng)過24小時連續(xù)運行拷機。
冷凝器微通道換熱器（風冷）板式換熱器（水冷）
蒸發(fā)器：板式換熱器
節(jié)流裝置：電子膨脹閥
控制系統(tǒng)：PLC可編程控制器
通訊：RS485接口Modbus RTU協(xié)議
以太網(wǎng)接口 TCP/IP協(xié)議
操作界面：無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示\EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出
循環(huán)系統(tǒng)：整個系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，低溫不吸收空氣中水份，不揮發(fā)導(dǎo)熱介質(zhì)，低溫自動補充導(dǎo)熱介質(zhì)進入循環(huán)系統(tǒng)。
外殼材質(zhì)：冷軋板噴塑RAL7035
管路內(nèi)部含：不銹鋼SUS304、銅、陶瓷、碳化硅、硅酮密封膠、PTFE

型號	FLTZ-202 FLTZ-202W	FLTZ-203 FLTZ-203W	FLTZ-204 FLTZ-204W	FLTZ-206 FLTZ-206W	FLTZ-208 FLTZ-208W	FLTZ-210 FLTZ-210W	FLTZ-215 FLTZ-215W
溫度范圍	-25℃～90℃
控溫精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
流量 MAX	10～25L/min		15～45L/min			25～75L/min
制冷量at-15℃	2kW	3kW	3.8kW	6kW	7.6kW	10kW	15kW
內(nèi)循環(huán)液容積	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷劑	R404A
載冷劑	硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
進出接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc1	Rc1
冷卻水接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc1	Rc1	Rc1 1/8
冷卻水流量at20℃	1.2m3/H	1.6m3/H	2.6m3/H	3.6m3/H	5.5m3/H	7m3/H	10.2m3/H
?藝過程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度（動態(tài)控溫）
外形尺寸 cm	9045113	9045113	9045113	10550140	10550140	10860150	10860150