
一、冷卻介質(zhì)的定期檢查與管理
冷卻介質(zhì)是冷卻水循環(huán)裝置實現(xiàn)熱交換的核心載體,其狀態(tài)直接影響換熱效率與系統(tǒng)安全性,需作為日常維護(hù)環(huán)節(jié)。
首先需定期檢查介質(zhì)液位與狀態(tài)。應(yīng)觀察儲液罐內(nèi)介質(zhì)液位,確保液位處于設(shè)備規(guī)定的標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi),當(dāng)液位過低,需及時補充同類型、同規(guī)格的冷卻介質(zhì),避免因介質(zhì)不足導(dǎo)致循環(huán)泵空轉(zhuǎn)或換熱不充分;同時觀察介質(zhì)外觀,當(dāng)出現(xiàn)渾濁、變色、異味或漂浮雜質(zhì),說明介質(zhì)已變質(zhì),需立即停機更換,更換前需清洗儲液罐與循環(huán)管路。其次要控制介質(zhì)的理化指標(biāo)。需檢測介質(zhì)的pH值、電導(dǎo)率等關(guān)鍵指標(biāo),確保pH值維持在中性或設(shè)備要求的范圍,避免酸性或堿性過強腐蝕管路與部件;電導(dǎo)率過高,需更換部分介質(zhì)或添加專用調(diào)節(jié)劑,降低系統(tǒng)結(jié)垢與腐蝕風(fēng)險。此外,根據(jù)介質(zhì)使用說明與設(shè)備工況,長期使用后其熱傳導(dǎo)性能也會下降,定期更換可保障換熱效率穩(wěn)定。
二、核心部件的檢查與維護(hù)
冷卻水循環(huán)裝置的核心部件是保障系統(tǒng)運行的關(guān)鍵,需定期檢查、清潔與保養(yǎng),預(yù)防部件故障導(dǎo)致系統(tǒng)停運。
循環(huán)泵作為介質(zhì)輸送動力源,需定期進(jìn)行檢查。先查看泵體運行狀態(tài),聽運行聲音是否正常,當(dāng)出現(xiàn)異常振動或聲音,可能是泵體軸承磨損或葉輪堵塞,需拆解泵體,清潔葉輪內(nèi)雜質(zhì),更換磨損軸承;其次檢查泵體密封件,當(dāng)發(fā)現(xiàn)密封處滲漏介質(zhì),需及時更換密封墊或機械密封,防止介質(zhì)流失與空氣進(jìn)入系統(tǒng)形成氣堵;此外,每季度需對泵體軸承添加專用潤滑油,確保轉(zhuǎn)動部件潤滑良好,減少機械磨損。
過濾器用于減少介質(zhì)中的雜質(zhì),防止管路與換熱器堵塞,需定期檢查并清潔。拆下過濾器濾芯,用壓縮空氣吹掃或清水沖洗,去除濾芯表面的雜質(zhì)與污垢;當(dāng)濾芯出現(xiàn)破損或堵塞嚴(yán)重,需及時更換濾芯,避免雜質(zhì)繞過濾芯進(jìn)入系統(tǒng)。
需檢查系統(tǒng)內(nèi)各類閥門的開關(guān)狀態(tài),確保閥門操作靈活,無卡滯現(xiàn)象;關(guān)閉閥門時觀察是否存在內(nèi)漏,可通過監(jiān)測管路溫度變化或介質(zhì)流量判斷,當(dāng)存在內(nèi)漏需拆解閥門,研磨密封面或更換閥芯。此外,檢查管路連接部位,需緊固螺栓或更換密封墊片,避免介質(zhì)流失與外界空氣進(jìn)入系統(tǒng)。
冷卻水循環(huán)裝置的日常維護(hù)是保障其穩(wěn)定運行的關(guān)鍵,需圍繞介質(zhì)、部件、清潔、參數(shù)、環(huán)境五個核心維度,建立常態(tài)化、系統(tǒng)化的維護(hù)機制。在實際運維中,還需結(jié)合裝置類型、使用場景與廠家建議,制定個性化維護(hù)方案,不斷優(yōu)化維護(hù)流程,提升設(shè)備運行可靠性。

FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制,公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法(PID、前饋PID、無模型自建樹算法),顯著提升系統(tǒng)的響應(yīng)速度、控制精度和穩(wěn)定性。
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FLTZ系列單通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制,公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法(PID、前饋PID、無模型自建樹算法),實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。
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FLTZ系列三通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制,系統(tǒng)支持三個通道獨立控溫,每個通道有獨立的溫度范圍、冷卻加熱能力、導(dǎo)熱介質(zhì)流量等。
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適用范圍 測試的物件連接到一個測試平臺適配器上,部件內(nèi)部通過乙二醇水溶液來冷卻和加熱測試。測試部件需要經(jīng)歷一個特定的溫度變化曲線,并且記錄溫度的變化。溫度變化的范圍通常從-40到100度。(可擴展到150度)進(jìn)行耐受性測試時,通常會循環(huán)進(jìn)行。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter …
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適用范圍 測試的物件連接到一個測試平臺適配器上,部件內(nèi)部通過乙二醇水溶液來冷卻和加熱測試。測試部件需要經(jīng)歷一個特定的溫度變化曲線,并且記錄溫度的變化。溫度變化的范圍通常從-40到100度。(可擴展到150度)進(jìn)行耐受性測試時,通常會循環(huán)進(jìn)行。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter …
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適用范圍 采?變頻渦旋壓縮機,根據(jù)實際需求?動調(diào)整運轉(zhuǎn)速度,提供所需的制冷能?,與傳統(tǒng)的定頻壓縮機相?,顯著降低能源消耗,提?能效性能。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter KRYZ變頻系列 -40℃~+100℃ KRYZ變頻雙通道系列 所有設(shè)備額定測試條件:?球溫度:20℃;濕球溫度:16℃…
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適用范圍 測試的物件連接到一個測試平臺適配器上,部件內(nèi)部通過乙二醇水溶液來冷卻和加熱測試。測試部件需要經(jīng)歷一個特定的溫度變化曲線,并且記錄溫度的變化。溫度變化的范圍通常從-40到100度。(可擴展到150度)進(jìn)行耐受性測試時,通常會循環(huán)進(jìn)行。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter …
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面板系列Chiller應(yīng)?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等,支持?流量?負(fù)載,確保極端?況下持續(xù)穩(wěn)定運?;支持冷卻?動態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng),可根據(jù)環(huán)境溫度與設(shè)備熱負(fù)荷,實時調(diào)節(jié)?溫。
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冠亞恒溫LNEYA 帕爾貼熱電制冷器CHILLER溫度范圍從-20到90℃,專為半導(dǎo)體行業(yè)度身定制; 基于經(jīng)過實踐驗證的帕爾貼熱傳導(dǎo)原理,帕爾貼溫度控制系統(tǒng)能夠為等離子刻蝕應(yīng)用提供可重復(fù)性的溫度控制;
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負(fù)壓型控溫系統(tǒng)通過負(fù)壓環(huán)境下的流體循環(huán)實現(xiàn)精準(zhǔn)溫度控制,原理:通過負(fù)壓發(fā)?器驅(qū)動導(dǎo)熱介質(zhì)(?/油)循環(huán),避免泄漏?險,適?于各種類型板卡冷卻。
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雙通道高溫Chiller?來滿?半導(dǎo)體?溫測試需求。介質(zhì)溫度最?可達(dá)250℃;以特殊的?藝?式,保證系統(tǒng)?溫?況下的控溫精度。
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ETCU換熱控溫單元冷卻?溫度范圍:+5℃?+90℃,控溫精度±0.05℃;系統(tǒng)?壓縮機,通過換熱降溫;?持?標(biāo)定制,?持PC遠(yuǎn)程控制;采?西??/霍尼?爾調(diào)節(jié)閥控制冷卻?流量;最?循環(huán)量時,控溫溫度與冷卻?溫度溫差15°C。
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全氟聚醚油常溫下為無色透明的油狀液體,耐高溫、耐化學(xué)腐蝕、抗氧化、抗輻射,主要用作潤滑油、真空泵油,由于具有高的穩(wěn)定性、安全性,特別是在尤為 苛刻條件下工作時所表現(xiàn)的高度可靠性
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氫氟醚是由氫、氟、氧和碳原子構(gòu)成的化合物,具有醚結(jié)構(gòu),臭氧消耗潛能值ODP為零,全球暖化潛勢系數(shù)GWP低,且大氣停留時間很短,被認(rèn)為是CFCs 理想替代品
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一、水冷式冷熱一體機的核心系統(tǒng)配置
水冷式冷熱一體機的系統(tǒng)配置圍繞制冷、加熱、循環(huán)、控制四大核心功能展開,各組件需協(xié)同適配以滿足不同場景的控溫需求,其關(guān)鍵配置可分為以下幾類。
制冷單元作為降溫核心,由壓縮機、冷凝器、蒸發(fā)器及節(jié)流裝置組成。水冷式冷凝器連接外部冷卻水,帶走制冷劑釋放的熱量;蒸發(fā)器通過與循環(huán)介質(zhì)換熱實現(xiàn)降溫。
為適應(yīng)不同溫區(qū),需合理選擇壓縮機類型與節(jié)流裝置,準(zhǔn)確調(diào)節(jié)制冷劑流量,確保多負(fù)載下制冷效率穩(wěn)定。加熱單元多采用管道式加熱器,集成于循環(huán)系統(tǒng)內(nèi)直接加熱介質(zhì)。其功率需匹配控溫范圍,并配備溫度保護(hù)組件,防止介質(zhì)過熱。部分設(shè)備在冷熱單元間設(shè)置切換閥組,確保功能切換順暢,避免相互干擾。循環(huán)系統(tǒng)負(fù)責(zé)介質(zhì)輸送與熱量傳遞,包括循環(huán)泵、儲液罐及管路組件。循環(huán)泵需提供穩(wěn)定流量與壓力,保障介質(zhì)可靠循環(huán);儲液罐容積應(yīng)與系統(tǒng)流量適配,并具備液位監(jiān)測功能,防止泵體空轉(zhuǎn)。管路材質(zhì)需根據(jù)介質(zhì)特性選擇,確保密封性與介質(zhì)純度。
換熱組件方面,除蒸發(fā)器外,部分設(shè)備還配置板式換熱器以增強熱交換效率。其換熱面積需匹配設(shè)備熱負(fù)荷,并采用易清潔結(jié)構(gòu),便于維護(hù)時清潔積垢,維持換熱性能。控制系統(tǒng)作為準(zhǔn)確控溫核心,由PLC、觸摸屏及傳感器組成。PLC基于預(yù)設(shè)算法,根據(jù)傳感器溫度數(shù)據(jù)動態(tài)調(diào)節(jié)制冷與加熱功率,維持介質(zhì)溫度穩(wěn)定;觸摸屏作為人機界面,可顯示運行參數(shù)、設(shè)定條件,部分機型還支持?jǐn)?shù)據(jù)記錄與導(dǎo)出,便于工藝追溯。監(jiān)測系統(tǒng)集成溫度、壓力、液位等多類傳感器,實時采集介質(zhì)溫度、系統(tǒng)壓力及儲液罐液位等參數(shù)。檢測到異常時,系統(tǒng)自動觸發(fā)預(yù)警并執(zhí)行保護(hù)措施,防止設(shè)備損壞或工藝偏差。
二、水冷式冷熱一體機的安裝要求
安裝場地應(yīng)通風(fēng)良好,避免高溫影響制冷效率,并防止灰塵、腐蝕性氣體進(jìn)入設(shè)備。地面需平整且承重足夠,必要時加裝減震墊以降低運行響動。設(shè)備四周需預(yù)留充足操作空間,特別是檢修與管路連接側(cè),便于維護(hù)。應(yīng)遠(yuǎn)離火源、水源及易燃易爆物品;若環(huán)境溫度較高,需采取隔熱措施,減輕額外散熱負(fù)荷,保障控溫精度。
冷卻水回路連接,水冷式設(shè)備需接入外部冷卻水系統(tǒng),防止冷凝器結(jié)垢或堵塞。管路直徑應(yīng)與接口匹配,安裝閥門與壓力表以調(diào)節(jié)流量、監(jiān)測壓力,連接處須密封嚴(yán)密。系統(tǒng)應(yīng)設(shè)排氣閥,啟動前排出空氣,避免氣阻影響水流。循環(huán)介質(zhì)回路連,循環(huán)回路管路材質(zhì)應(yīng)與介質(zhì)兼容,防止腐蝕或化學(xué)反應(yīng)。低溫工況下管路需做保溫處理,減少熱量損失,確??販鼐?。
水冷式冷熱一體機的系統(tǒng)配置與安裝要求,需圍繞設(shè)備功能實現(xiàn)與安全穩(wěn)定運行展開,嚴(yán)格遵循系統(tǒng)配置原則與安裝規(guī)范,同時結(jié)合實際工藝需求優(yōu)化配置與安裝細(xì)節(jié),確保設(shè)備充分發(fā)揮性能,為工藝過程提供穩(wěn)定的溫度支持。

冠亞恒溫高低溫一體機控溫精度高、溫度控制智能,溫度控制范圍寬,從-150℃ ~ +350℃一應(yīng)俱全,適合多數(shù)企業(yè)恒溫控制需求。控溫精度可達(dá)±0.3℃,制冷功率從0.5kW到1200kW均可提供相應(yīng)產(chǎn)品。
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制冷加熱控溫系統(tǒng)較SUNDI產(chǎn)品制冷系統(tǒng)、循環(huán)系統(tǒng)采?變頻控制,相對與?款產(chǎn)品節(jié)能20%以上、噪?降低5分?以上、啟動電流?。
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適用范圍 溫度范圍:-45℃~250℃,控溫精度可達(dá)±0.5℃,同時具備加熱制冷功能。 7?彩?TFT觸摸屏圖形顯?,可以同時顯?溫度設(shè)定值和實際值,以及超溫報警值; 密閉循環(huán),充液簡單;保證?溫情況下迅速降溫;可實現(xiàn)250℃到-45℃連續(xù)控溫; 循環(huán)管路全密閉處理,?油霧和吸?情況,保證了實驗的安全和導(dǎo)熱液的壽命; 制冷單元艾默??輪壓縮機,性能穩(wěn)定,質(zhì)量可靠; …
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適用范圍 ?于120℃?溫供熱?燥,另?側(cè)25℃冷卻捕集?途,輕松搭建由(夾套罐體+冷凝器+負(fù)壓系統(tǒng))構(gòu)建廢液回收系統(tǒng)?于廢液回收升華控溫,另?側(cè)25℃冷凝捕集整體能效優(yōu)于4.5。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 行業(yè)應(yīng)用 APPLICATION 半導(dǎo)體FAB工藝過程控溫解決方…
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Chiller化學(xué)介質(zhì)控溫機組可直接通?化學(xué)介質(zhì)并且精準(zhǔn)控制溫度,作為化學(xué)反應(yīng)前介質(zhì)的預(yù)熱、預(yù)冷控溫;化學(xué)介質(zhì)氫氟酸、硫酸、氨?、硝酸、臭氧?、鹽酸、氫氧化鈉等,需要確認(rèn)濃度、溫度是否滿?。
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適用范圍 冠亞制冷TCU溫控系統(tǒng)可實現(xiàn)-120度~300度的動態(tài)控溫,TCU溫控系統(tǒng)采用現(xiàn)有的熱能(如蒸汽、冷卻水及超低溫液體——即“初級系統(tǒng)”)基礎(chǔ)設(shè)施集成到用來控制工藝設(shè)備溫度的單流體系統(tǒng)或二級回路中。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter SR系列二次換熱式 ZLF系列 直通式 行…
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適用范圍 本項目自動控制系統(tǒng)應(yīng)用計算機控制技術(shù),可以使制藥生產(chǎn)的工藝操作和參數(shù)得到科學(xué)的、有效的、嚴(yán)格的監(jiān)測和控制,實現(xiàn)制藥生產(chǎn)的連續(xù)化和自動化。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 第一、先進(jìn)的設(shè)計理念 本方案基于先進(jìn)的過程控制系統(tǒng)SIMATIC PCS 7設(shè)計是參考新版GMP藥品生…
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適用范圍 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter LY系列 UC系列 行業(yè)應(yīng)用 APPLICATION 新材料|特氣生產(chǎn)控溫解決方案 新材料,作為新近發(fā)展或正在發(fā)展的具有優(yōu)異性能的結(jié)構(gòu)材料和有特殊性質(zhì)的功能材料,其研發(fā)和生產(chǎn)過程對溫度控制有著極高的要求。而特氣生產(chǎn),如氧氣…
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適用范圍 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter UST 10°C~300°C UST 10°C~360°C 所有設(shè)備額定測試條件:?球溫度:20℃;濕球溫度:16℃。進(jìn)?溫度:20℃;出?溫度:25℃。 行業(yè)應(yīng)用 APPLICATION 新材料|特氣生產(chǎn)控溫解決方案 新材料,作為新近發(fā)展或正在發(fā)展的具有優(yōu)異…
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