高精度復(fù)疊制冷快速響應(yīng)與面板冷水機(jī)在半導(dǎo)體工藝中的應(yīng)用

2025年7月17日 182

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的工藝制造環(huán)節(jié)中，溫度控制的穩(wěn)定性直接影響芯片的性能與良率。其中，面板冷水機(jī)作為溫控設(shè)備之一，通過(guò)準(zhǔn)確的流體溫度調(diào)節(jié)，為半導(dǎo)體制造過(guò)程中的各類工藝提供穩(wěn)定的環(huán)境支撐，成為現(xiàn)代半導(dǎo)體生產(chǎn)鏈中控溫環(huán)節(jié)。

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