面板水冷機準確溫度調(diào)節(jié)與多重穩(wěn)定性技術配套使用于半導體晶圓加工

2025年7月17日 183

在晶圓加工過程中，溫度環(huán)境的細微波動都可能導致器件性能偏差甚至失效。面板水冷機作為核心溫控設備之一，通過準確的溫度調(diào)節(jié)與穩(wěn)定的系統(tǒng)運行，為晶圓制造全過程提供可靠的熱環(huán)境保障，成為影響加工良率的關鍵因素。

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