【產品介紹】二次換熱型TCU控溫系統(tǒng)SR系列

Chiller 換熱型 系統(tǒng)無壓縮機

2023年10月8日 1514

冷卻能力5KW~30KW溫度范圍冷卻水溫度+5℃~90℃ ±0.3℃儲罐容積6L~15L尺寸480*750*390/480*750*500

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半導體Chiller設備溫控技術在晶圓制造工藝中的應用實踐

2025年7月25日 199

在晶圓制造過程中，半導體Chiller設通過制冷與加熱的動態(tài)調節(jié)，為晶圓制造各環(huán)節(jié)提供穩(wěn)定的溫度環(huán)境，其核心作用是維持工藝過程中溫度的準確控制，避免因溫度波動導致的圖形轉移偏差、薄膜均勻性下降等問題。

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ETCU換熱控溫單元

2024年5月25日 648

ETCU換熱控溫單元冷卻?溫度范圍：+5℃?+90℃，控溫精度±0.05℃；系統(tǒng)?壓縮機，通過換熱降溫；?持?標定制，?持PC遠程控制；采?西??/霍尼?爾調節(jié)閥控制冷卻?流量；最?循環(huán)量時，控溫溫度與冷卻?溫度溫差15°C。

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HLTZ系列氫氣高效換熱制冷機組

2024年11月25日 1122

適用范圍 氫氣經過內高壓換熱器，制冷系統(tǒng)通過制冷劑直接與氫氣換熱，實現(xiàn)高效換熱控溫；設備本體采用正壓防爆系統(tǒng)，正壓系統(tǒng)內置有恒溫器，確保系統(tǒng)環(huán)境維持在常溫。相對于傳統(tǒng)防凍液或其他流體與氫氣換熱，本設備采用介質為制冷系統(tǒng)制冷劑（相變熱），...

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